Valvole per vuoto（Tipo di attacco tubo：Flangia）

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  XM e XY, valvole vuoto elevato, acciaio inox, tipi ad angolo e in linea

  SMC

  A vacuum valve with a pressure balanced structure.
  [Features]
  · Body material: SCS13 (SUS304 equivalent). Made of stainless steel.
  · Precision-cast single-piece structure which helps prevent gas accumulation.
  · Interchangeable with XL Series aluminum high-vacuum angle valves.
  · Bellows type is particulate-free and cleaned.

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  A partire da∗ ：	444.20 €
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• 

  XLA-2, Valvola angolare per alto vuoto, Alluminio, Normalmente chiusa / tenuta a soffietto

  SMC

  Vacuum regulator with low outgassing.
  [Features]
  · Aluminum body.
  · Replaceable bellows.
  · Uniform baking temperature.
  · Lightweight and compact.
  · Little heavy metal contamination.

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  A partire da∗ ：	359.31 €
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  *Prezzo unitario in configurazione base

• 

  Valvola angolare per alto vuoto in alluminio, doppia azione / Guarnizione a soffietto, serie XLC

  SMC

  [Caratteristiche]
  · Corpo in alluminio
  · Temperatura di cottura uniforme
  · Leggero e compatto
  · Basso degassamento
  · Poca contaminazione da metalli pesanti
  · Resistente alla corrosione da fluoro
  · Soffietti sostituibili (tipo guarnizione a soffietto)

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  A partire da∗ ：	377.65 €
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  *Prezzo unitario in configurazione base

• 

  Valvole angolari per alto vuoto in alluminio, normalmente chiuse, Guarnizione O-ring, serie XLF

  SMC

  [Caratteristiche]
  · Corpo in alluminio
  · Temperatura di cottura uniforme
  · Leggero e compatto
  · Basso degassamento
  · Poca contaminazione da metalli pesanti
  · Resistente alla corrosione da fluoro
  · Soffietti sostituibili (tipo guarnizione a soffietto)

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  A partire da∗ ：	533.56 €
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  *Prezzo unitario in configurazione base

• 

  Valvola angolare per alto vuoto in alluminio, doppia azione, Guarnizione O-ring serie XLG

  SMC

  [Caratteristiche]
  · Corpo in alluminio
  · Temperatura di cottura uniforme
  · Leggero e compatto
  · Basso degassamento
  · Poca contaminazione da metalli pesanti
  · Resistente alla corrosione da fluoro
  · Soffietti sostituibili (tipo guarnizione a soffietto)

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  A partire da∗ ：	385.17 €
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  *Prezzo unitario in configurazione base

• 

  XL*, valvola ad angolo vuoto elevato, azionamento pneumatico

  SMC

  A high vacuum angle valve with initial exhaust valve with adjustable flow rate.
  [Features]
  · Initial exhaust valve and main exhaust valve are integrated (two-step flow rate control valve).
  · Allows for compact system designs and reduced piping.
  · Prevents dust turbulence inside the chamber when exhausting.
  · Prevents pumps from running when overloaded.
  · Its low outgassing enables use with a smaller pump capacity and helps reduce exhaust time.
  · Does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome).
  · Low sputtering yield minimizes heavy metal contamination of wafers.

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  A partire da∗ ：	721.89 €
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  *Prezzo unitario in configurazione base

• 

  XLH, valvola ad angolo manuale vuoto elevato, tenuta a soffietto

  SMC

  A high vacuum angle valve with a pressure-balanced structure that enables an unrestricted exhaust direction.
  [Features]
  · Bellows type is particulate-free and cleaned.
  · Low actuation torque (0.5 N·m or less).
  · Spring provides a standard sealing load.
  · Handle height remains the same regardless of whether valve is open or closed.
  · Equipped as standard with an indicator for confirming if the valve is open or closed.
  · Its low outgassing enables use with a smaller pump capacity and helps reduce exhaust time.
  · Does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome).
  · Low sputtering yield minimizes heavy metal contamination of wafers.

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  A partire da∗ ：	359.47 €
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  *Prezzo unitario in configurazione base

• 

  Valvola angolata per vuoto elevato in alluminio serie XLS (tipo elettromagnetico, bilanciamento pressione soffietti)

  SMC

  A high vacuum angle valve that requires no air to drive, enabling use in portable equipment.
  [Features]
  · Uses no sliding metal parts, minimizing particulate matter.
  · The pressure balance mechanism allows an unrestricted exhaust direction.
  · A control power supply circuit for solenoid valve drive is now standard.
  · Its low outgassing enables use with a smaller pump capacity and helps reduce exhaust time.
  · Does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome).
  · Low sputtering yield minimizes heavy metal contamination of wafers.

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  *Prezzo unitario in configurazione base

• 

  Valvole angolari per alto vuoto in acciaio inossidabile / valvole in linea, azione doppia / guarnizione a soffietto, serie XMC / XYC

  SMC

  Valvola del vuoto con struttura monoblocco microfusa che aiuta a prevenire l'accumulo di gas.
  [Caratteristiche]
  · Il tipo a soffietto è privo di particolato e pulito.
  · Struttura a pressione bilanciata.
  · Materiale del corpo: SCS13 (equivalente a SUS304).
  · La serie XM è intercambiabile con le valvole angolari per alto vuoto in alluminio della serie XL.

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  A partire da∗ ：	511.31 €
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  *Prezzo unitario in configurazione base

• 

  Valvole angolari per alto vuoto in acciaio inossidabile / valvola in linea, controllo a 2 stadi, azione singola / guarnizione a soffietto, guarnizione O-ring, serie XMD / XYD

  SMC

  Valvola per il vuoto per impedire il funzionamento delle pompe in caso di sovraccarico.
  [Caratteristiche]
  · La valvola di scarico iniziale e la valvola di scarico principale sono integrate (valvola (regolazione) della portata a due stadi)
  · Consente progetti di sistemi compatti e tubazioni ridotte.
  · Previene la turbolenza della polvere all'interno della camera durante lo scarico.
  · Portata regolabile per valvola di scarico iniziale.
  · Materiale del corpo: SCS13 (equivalente a SUS304).
  Struttura monoblocco microfusa che aiuta a prevenire l'accumulo di gas.
  · La serie XM è intercambiabile con le valvole angolari per alto vuoto in alluminio della serie XL.

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  XM e XY, valvole vuoto elevato, acciaio inox, tipi ad angolo e in linea

  SMC

  A vacuum valve with a pressure-balanced structure that enables an unrestricted exhaust direction.
  [Features]
  · Bellows type is particulate-free and cleaned.
  · Low actuation torque (0.5 N·m or less).
  · Spring provides a standard sealing load.
  · Handle height remains the same regardless of whether valve is open or closed.
  · Equipped as standard with an indicator for confirming if the valve is open or closed.
  · Body material: SCS13 (SUS304 equivalent).
  · Precision-cast single-piece structure which helps prevent gas accumulation.
  · The XM Series is interchangeable with XL Series aluminum high vacuum angle valves.

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